用于惯性制导用的加速度传感器是哪一种原理是什么

看一下MEMS器件，有详细的加速度传感器的原理
大体上是一个质量块在悬臂梁，应用牛二定律F=ma，当有加速度存在的时候，质量块受到等效力的作用是悬臂梁产生形变，使做在悬臂梁上的敏感电阻产生变化，用信号调理电路就可读出加速度。
基于质量块这种结构的加速度传感器还有电容式，隧道电流式等等，原理都查不多。
陀螺是用来测量角加速度的，现在的陀螺有多种原理，有转的和不转的。
转的就是传统意义上的陀螺仪。
不转的有静电陀螺仪等，原理和上面的加速度传感器差不多。
现在只用加速度传感器就可测量角加速度了，在精度不高的场合可以替代陀螺。
大学时设计过加速度传感器，并用Ansys和matlab仿真过。我们系的产品北大微电子所做过。